Quartz Parts
쿼츠(Quartz,SiO2)는 가스함유량이 적고 전기전도를 생기게 하는 알칼리 성분을 거의 포함 하고 있지 않는 부도체 상태로 ‘실리카 Glass’라고 불립니다.
고순도화된 석영유리 섬유는 광흡수가 적고 우수한 도광성을 가지고 있어 광파이버로서 중요한 소재이며 반도체에서는 주로 Dry Etch와 Diffusion공정에 사용됩니다.
내열, 내열충격, 내약품성을 이용하여 이화학 실험기구나 시계, 통신기 등 수정 진동자로써 사용되고 광파이버는 광일렉트로닉스 진보에 따라 광학부품으로 사용이 점점 증가하는 추세 입니다.
고순도화된 석영유리 섬유는 광흡수가 적고 우수한 도광성을 가지고 있어 광파이버로서 중요한 소재이며 반도체에서는 주로 Dry Etch와 Diffusion공정에 사용됩니다.
내열, 내열충격, 내약품성을 이용하여 이화학 실험기구나 시계, 통신기 등 수정 진동자로써 사용되고 광파이버는 광일렉트로닉스 진보에 따라 광학부품으로 사용이 점점 증가하는 추세 입니다.
MAKE IT에서는 쿼츠를 소재로 챔버 윈도우, 렌즈, 가스 노즐(인젝터), 본더용 백업 등 다양한 반도체/디스플레이 장비 부품 및 소모품을 생산 합니다.
단 하나의 제품이라도 최선을 다해 제작하겠습니다.
Feature
초고순도
SiO2 99.99% 이상의 순도를 가지며 실록산(Si-O)사슬은 탄소-산소의 결합에너지 보다 훨씬 강하므로, 온도변화에 따른 물리적 기계적 성질변화가 적은 장점으로 인하여 비교적 고온(약 200℃ 정도까지)에서도 소자가 동작할 수 있는 장점이 있다.절연성
쿼츠는 전기전도를 생기게 하는 알칼리 성분을 거의 포함하고 있지 않는 부도체 상태이므로 측정기나 통신기종에 없어서는 안 될 전기 절연체로 널리 이용되고 있다.낮은 가스 함량
반도체 제작 환경에서는 고온에서의 안정성이 요구 되므로 낮은 가스 함량을 가진 고순도의 쿼츠는 이러한 점에서 다른 재료에 비해 월등히 뛰어나다.뛰어난 투과성
투명 석영 Glass는 자외부의 0.18㎛ 에서부터 적외부의 4㎛에 이르는 파장의 빛을 투과하므로 조명, 광학용 재료와 광파이버(광섬유) 등의 재료로서도 널리 사용된다.내열성
열팽창계수가 5×9°C ( 0 - 1000 °C)로 급열, 급냉에 대해서 높은 내열성을 가지고 반도체 공정에서는 1100°C의 고온에서도 적용된다.열전도율
비열은 890-1,140 J/㎏ (20-1000) 이며 열전도율은 0°C 에서 1.3w/mk, 100°C 에서 1.5 w/mk이다. 불투명과 투명의 비열은 비슷하나 열전도율은 불투명 Glass가 다소 낮은편이다.Physical Properties
※ Tosoh N-Grade
